style="width:4.31329in;height:1.44672in" />Z-Au 99.999,□×□mm 本文是学习GB-T 26312-2010 蒸发金. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11066(所有部分) 金化学分析方法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 25934(所有部分) 高纯金化学分析方法
3.1.1 蒸发金产品按化学成分分为 Z-Au 99.999 和 Z-Au 99.99
两种牌号。
3.1.2
蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1
的要求。需方有 其他要求时由供需双方协商解决。
表 1
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style="width:4.31329in;height:1.44672in" />Z-Au 99.999,□×□mm
—长度
—直径
示例 ：直径为5 mm、长度为20mm、成分为99 .999%的柱状蒸发金产品
标记为：Z-Au 99.999,φ5×z0 mm。
style="width:3.89337in;height:1.5466in" />
style="width:1.00662in;height:1.01332in" />GB/T 26312—2010
style="width:3.9in;height:1.70694in" />
示例：长为10mm、 宽为10mm、 厚为2mm 的片状蒸发金产品
标记为：Z-Au99.999,10×10×2 mm。
style="width:5.03341in;height:1.19988in" />Z-Au 99.999,φ□mm,□g/线盘
-每线盘重量
—线材直径
示例 ：线径为0.5mm、每盘200g 重量的线盘状蒸发金产品 标记为：Z-Au
99.999,φ0.5 mm,200g/线盘。
产品化学成分应符合表2的要求，其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而
得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，按供需双方协商进行。
表 2
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3.4.1
产品形状如图1所示。片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求；柱状产品的尺寸及允许偏
差应符合表4和表5的要求；线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范
围为主协商解决。
style="width:3.84664in;height:3.42672in" />
a) 片状 b) 柱状 c) 线盘状 图 1
蒸发金产品图
GB/T 26312—2010
表 3 单位为毫米
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表 4
单位为毫米
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表 5 长度允许偏差
单位为毫米
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3.4.2 供需双方可协商生产其他规格产品，需方如有其他要求在合同中注明。
3.5.1
蒸发金产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。
3.5.2 蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。
3.5.3
蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。
3.5.4 蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。
蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证，内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。
4.1 Z-Au 99.999 蒸发金的化学成分仲裁分析方法按 GB/T 25934
的规定进行。 Z-Au 99.99 蒸发金 的化学成分仲裁分析按GB/T 11066
的规定进行。
4.2 产品尺寸测量按GB/T 15077 的规定进行。
4.3
外观质量检验采用目视进行，必要时可采用放大镜或(10～25)倍双目显微镜检查。
GB/T 26312—2010
5.1.1
蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定并填写质量证
明书。
5.1.2
需方可对收到的产品按本标准规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同，或技术协议)
规定不符合时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双
方认可的单位进行复验，仲裁取样在需方由双方共同进行。
蒸发金产品应成批提交验收，每批产品应为同一牌号、炉号、状态、规格的产品组成。
每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验。
检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定。
表 6
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5.5.1 化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。
5.5.2
尺寸及其偏差不合格，取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对
余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。
5.5.3
外观质量不合格，重新取双倍样进行检验；若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下
的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。
6.1.1 将检验的合格产品按要求分件包装。
6.1.2 蒸发金产品内包装真空密封，内外包装间装防震动的填充物。
6.1.3
每件包装产品塑料袋外应附有标签，其上注明：供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数
style="width:3.11347in" />GB/T 26312—2010
量(净重)、生产日期。
6.2.1 运输中应防止包装箱挤压变形、碰伤、雨淋、受潮及恶劣环境。
6.2.2 产品应在清洁、干燥、无腐蚀性环境中贮存。
每批产品应附有质量证明书，注明下列内容：
a) 需方名称及合同号；
b) 产品名称及产品牌号；
c) 采购技术文件编号或本标准编号；
d) 批号、规格尺寸；
e) 净重和件数；
f) 各项分析检验结果及质量技术监督部门印记；
g) 生产日期。
本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容：
a) 产品名称；
b) 产品牌号；
c) 规格尺寸；
d) 数量或净重；
e) 本标准编号；
f) 供货时间；
g) 其他标准之外技术协议、采购规范编号供货要求等。
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