本文是学习GB-T 26312-2010 蒸发金. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。
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GB/T 11066(所有部分) 金化学分析方法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 25934(所有部分) 高纯金化学分析方法
3.1.1 蒸发金产品按化学成分分为 Z-Au 99.999 和 Z-Au 99.99
两种牌号。
3.1.2
蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主,产品形状及供货状态应满足表1
的要求。需方有 其他要求时由供需双方协商解决。
表 1
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style="width:4.31329in;height:1.44672in" />Z-Au 99.999,□×□mm
—长度
—直径
示例 :直径为5 mm、长度为20mm、成分为99 .999%的柱状蒸发金产品
标记为:Z-Au 99.999,φ5×z0 mm。
style="width:3.89337in;height:1.5466in" />
style="width:1.00662in;height:1.01332in" />GB/T 26312—2010
style="width:3.9in;height:1.70694in" />
示例:长为10mm、 宽为10mm、 厚为2mm 的片状蒸发金产品
标记为:Z-Au99.999,10×10×2 mm。
style="width:5.03341in;height:1.19988in" />Z-Au 99.999,φ□mm,□g/线盘
-每线盘重量
—线材直径
示例 :线径为0.5mm、每盘200g 重量的线盘状蒸发金产品 标记为:Z-Au
99.999,φ0.5 mm,200g/线盘。
产品化学成分应符合表2的要求,其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而
得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的,按供需双方协商进行。
表 2
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3.4.1
产品形状如图1所示。片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求;柱状产品的尺寸及允许偏
差应符合表4和表5的要求;线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求,以需方要求的每盘重量范
围为主协商解决。
style="width:3.84664in;height:3.42672in" />
a) 片状 b) 柱状 c) 线盘状 图 1
蒸发金产品图
GB/T 26312—2010
表 3 单位为毫米
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表 4
单位为毫米
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表 5 长度允许偏差
单位为毫米
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3.4.2 供需双方可协商生产其他规格产品,需方如有其他要求在合同中注明。
3.5.1
蒸发金产品表面应清洁,不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。
3.5.2 蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。
3.5.3
蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。
3.5.4 蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。
蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证,内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。
4.1 Z-Au 99.999 蒸发金的化学成分仲裁分析方法按 GB/T 25934
的规定进行。 Z-Au 99.99 蒸发金 的化学成分仲裁分析按GB/T 11066
的规定进行。
4.2 产品尺寸测量按GB/T 15077 的规定进行。
4.3
外观质量检验采用目视进行,必要时可采用放大镜或(10~25)倍双目显微镜检查。
GB/T 26312—2010
5.1.1
蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准规定并填写质量证
明书。
5.1.2
需方可对收到的产品按本标准规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同,或技术协议)
规定不符合时,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,可委托双
方认可的单位进行复验,仲裁取样在需方由双方共同进行。
蒸发金产品应成批提交验收,每批产品应为同一牌号、炉号、状态、规格的产品组成。
每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验。
检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定。
表 6
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5.5.1 化学成分不合格时,则判该批产品为不合格。
5.5.2
尺寸及其偏差不合格,取双倍样进行重复试验,若仍有不合格,则判该批产品不合格。但允许对
余下的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货。
5.5.3
外观质量不合格,重新取双倍样进行检验;若仍有不合格,则判该批产品不合格。但允许对余下
的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货。
6.1.1 将检验的合格产品按要求分件包装。
6.1.2 蒸发金产品内包装真空密封,内外包装间装防震动的填充物。
6.1.3
每件包装产品塑料袋外应附有标签,其上注明:供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数
style="width:3.11347in" />GB/T 26312—2010
量(净重)、生产日期。
6.2.1 运输中应防止包装箱挤压变形、碰伤、雨淋、受潮及恶劣环境。
6.2.2 产品应在清洁、干燥、无腐蚀性环境中贮存。
每批产品应附有质量证明书,注明下列内容:
a) 需方名称及合同号;
b) 产品名称及产品牌号;
c) 采购技术文件编号或本标准编号;
d) 批号、规格尺寸;
e) 净重和件数;
f) 各项分析检验结果及质量技术监督部门印记;
g) 生产日期。
本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容:
a) 产品名称;
b) 产品牌号;
c) 规格尺寸;
d) 数量或净重;
e) 本标准编号;
f) 供货时间;
g) 其他标准之外技术协议、采购规范编号供货要求等。
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